ベーキングユニット | マスフローコントローラ｜気化器

SVC Series

　SVCシリーズは、内蔵タンクで気化させたガスを高温用マスフローコントローラで制御し、供給する装置です。流体計測制御機器メーカーとして液体の物性を考慮した装置設計により安定的に流体供給を実現します。

特長

供給ライン全体の温度を最適化することで、液化を防止し、気化ガスを安定供給。
各種ユーティリティに接続するだけで手軽にベーキング供給が可能なオールインワン設計。
液体物性や供給量、使用環境により様々な仕様に対応可能。
メンテナンス性を考えたクリーンな構造。
安全面を考慮した各種アラーム設定機能搭載。

用途

　SVCシリーズは、DLC等のカーボン系薄膜の成膜で用いるC7H8や光ファイバー製造に欠かせない材料であるSiCl4、半導体製造プロセスであるレジスト剥離で行うアッシングで用いられるH2O等、生産設備で必要な液体材料の気化供給に使われています。ベーキングユニットは基本的にMFC2次側が真空（減圧）下での使用が条件となる装置です。

液体材料実績例

CH3OH / C5H5N / C5H8O2 / H2O / HMDS / HMDSO / OMCTS / SiCl4 / TEOS / TMCTS

※上記以外の材料でも条件（2次側減圧、蒸気圧が取れる等）により可能ですのでお問い合わせください。

標準仕様

使用温度/相対湿度		0~40℃/80%以下
使用条件		連続運転
電源電圧		単相AC100V 50/60Hz
絶縁抵抗		500Vメガにて10MΩ以上
温度調節器		MFC/タンク/配管ライン 3点独立制御
空圧弁操作		フローパネルスイッチ
ユーティリティ	バルブ駆動用Air	0.5～0.6MPa
	パージ用N2	0.05～0.3MPa
	電源	100/200VAC
配管/筐体	筐体内排気	φ50ダンパー
	配管	BA管
	液面計	フロート式
	タンク	500CC/1L/2L/5L