最高設定温度300℃の高温設定が可能で、VU-550に比べて気化室を拡大。ヒータパワーをアップし気化出口の距離を延長した大流量気化器。
Auシール採用により、最高加熱温度300℃お実現。
気化室を従来品より拡大し、大流量気化でも気化効率を最適化。ヒータパワーもリンテック気化器最大出力の240V、2400Wヒータを搭載。
液体マスフローと連動させるバルブはピエゾ、ソレノイド、なしの選べる3タイプ。
特長
使用例
高濃度大流量気化
気化器設定温度を最高300℃に設定可能です。その為、少量のキャリアガスでも安定気化が可能。高濃度での気化供給が必須のプロセスに最適です。
過加熱蒸気の発生源
LM-3700と組み合わせる事で、最大H2O 15g/minの気化が可能です。実験だけでなく生産設備として圧力変動の少ない過加熱蒸気蒸気発生源として生産設備に最適です。
仕様表
| 最高温度 | キャリアガス流量 | 最大H2O気化流量 | 最大TEOS気化流量 | シール |
| 300℃ | 0.8~130SLM | 15g/min | 50g/min | Au |
詳細仕様はお問合せ下さい。
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