| 1987年10月 | ・滋賀県野洲郡中主町に於いて資本金3,400万円にて設立、創業 ・東京営業所を開設 ・代表取締役 小野弘文 就任 |
| 1988年1月 | マスフローメータ MM-10, 20シリーズを販売開始 |
| 1989年11月 | マスフローコントローラ MC-100、200シリーズを販売開始 |
| 1990年11月 | ・資本金を5,000万円に増資 ・液体用マスフローコントローラ LC-1000を販売開始 |
| 1991年12月 | デジタルマスフローコントローラ MC-2000シリーズを発表 |
| 1992年12月 | デジタルマスフロメータ MM-2000シリーズを発表 |
| 1993年12月 | 液体気化供給器LV-1100, AV-1100を発表、販売開始 |
| 1996年12月 | 液体用デジタルマスフローメータ LM-2100を発表、販売開始 |
| 1997年10月 | 液体(TEOS)自動供給装置LSS-1000を販売開始 |
| 1998年4月 | ・代表取締役 磯田頼孝 就任 ・取締役会長 小野弘文 就任 |
| 1998年8月 | 資本金を9,995万円に増資 |
| 1999年9月 | 強誘電体CVD 用液体気化供給器VU-510を発表、販売開始 |
| 2000年2月 | 低価格商品MC-3100E、MC-3200Eを販売開始 |
| 2001年8月 | 資本金17,487万円に増資 |
| 2001年11月 | ISO9001認定取得 BVQI(現ビューローベリタスジャパン) |
| 2002年3月 | Device Net対応マスフローコントローラMC-5000シリーズを発表、販売開始 |
| 2003年12月 | 耐酸性マスフローメータAM-3000を発表、販売開始 |
| 2004年1月 | プリミックス気化器VU-T450、VU-T550を発表、販売開始 |
| 2005年5月 | 滋賀県大津市に本社、新工場を建設 本社工場・滋賀営業所を移転  |
| 2006年12月 | 低温高効率気化器VU-910を発表、販売開始 |
| 2008年6月 | ISO14001認定取得 BVQI(現ビューローベリタスジャパン) |
| 2008年7月 | 高精度マスフローコントローラMC-3000Lシリーズを発表、販売開始 |
| 2009年6月 | 液体用マスフローコントローラLC-3000Lシリーズを発表、販売開始 |
| 2011年12月 | Ether CAT対応マスフローコントローラMC-5000シリーズを発表、販売開始 |
| 2012年5月 | マレーシアに製造会社JP LINTEC を設立 |
| 2012年12月 | VR機能搭載マスフローコントローラMC-700シリーズを発表、販売開始 |
| 2014年12月 | ・ローコストマスフローコントローラMC-10シリーズ ・コリオリ液体マスフローコントローラLC-4000シリーズを発表、 販売開始 |