H2Oを例にすると、液相1mlを理想状態で気化すると、1,244mlに膨張します。微小流量の高精度な流量制御が要求される液体流量を制御し気化させて反応させる半導体製造装置に欠かせない技術となりました。
安定性
1ml/min以下の流量制御機器は、定量ポンプなどがありますが、定量ポンプでは機械的な切替わり動作を連続的に行うため、脈動が発生します。機械的な切替わりがないシリンジポンプであれば脈動はありませんが、ポンプの容積に限界があり、連続供給はには不向きです。
また、真空装置に液体を流量制御して導入する場合、定量ポンプでは差圧により流量が安定しません。
液体マスフローコントローラの流量制御は、ガスなどで一定圧に加圧された液体を液体マスフローコントローラに導入、内部の流量センサで瞬時流量を検知し、バルブ開度を常に制御する為、二次側が減圧でも大気圧でも一定の流量制御が可能です。
液体マスフロー関連製品
液体マスフローメーター
| 特長 | 型式 | 通信規格 電源 | 温度 精度 | 用途 |
|---|---|---|---|---|
 液体微小流量 | LM-3000L | RS-485 アナログ0～5V ±15V電源 | 15~35℃ ±1.0%S.P. | 半導体 成膜 気化器 |
液体マスフローコントローラ
| 特長 | 型式 | 通信規格 電源 | 温度 精度 | 用途 |
|---|---|---|---|---|
 液体微小流量 | LM-3000L | RS-485 アナログ0～5V ±15V電源 | 15~35℃ ±1.0%F.S. | 半導体 分析 気化器 |
 コリオリ式 | LC-4000 | アナログ0～5V ＋24V電源 | 15~35℃ ±1.0%F.S. | 半導体 分析 気化器 |
マスフローコントローラ技術応用製品
| 特長 | 型式 | 通信規格 電源 | 温度 精度 | 用途 |
|---|---|---|---|---|
 液体比例電磁弁 | CV-1000 | アナログ0～15V | 15~35℃ ±1.0%S.P. | 液体制御 半導体 分析 |