0.1μmのフィルタとヒータを一体化した高温フィルタ。
半導体製造工程の液化ガスでの使用を前提とした設計で、接ガス部材は全てSUS316L。リンテック独自の低圧損構造。
特徴
- 0.1µmのろ過精度
- Max200℃
- オールメタルのクリーン構造
使用例
気化システム後方に設置することで製品欠陥に繋がるバーティクルやミストを除去する加熱フィルタです。
0.1μmのフィルタとヒータを一体化した高温フィルタ。
半導体製造工程の液化ガスでの使用を前提とした設計で、接ガス部材は全てSUS316L。リンテック独自の低圧損構造。
気化システム後方に設置することで製品欠陥に繋がるバーティクルやミストを除去する加熱フィルタです。