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電源表示設定器（RP-310）の使い方②
①では接続方法について紹介しました。②では流量表示の設定方法について紹介していきます。 流量表示設定方法 「MODEボタン」と「▶ボタン」を同時に2秒以上長押ししてください。 2秒以上長押しすると赤線で囲まれた値に「1」 […]
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電源表示設定器(RP-310)の使い方①
マスフローコントローラをアナログで動作させるには電源表示設定器(RP-310)が必要となります。電源表示設定器は電源とマスフローコントローラの流量設定、実際にマスフローコントローラで計測・制御している流量表示が1つの機器 […]
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DLCとマスフローコントローラ
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)とは ダイヤモンドライクカーボン（Diamondo Like Carbon)は、英語の頭文字をとってDLCと略されます。カーボンは炭素で、ダイヤモンドのような炭素という意味になります。 […]
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O3(オゾン)用マスフローコントローラ
O3(オゾン)とは？ O3（オゾン）は酸素原子が3つ結びついた分子です。地球の表面を覆っているオゾン層もこのO3の集まりです。 O3は酸素分子と酸素原子に分解しやすい不安定な物質です。常温状態でも長時間維持することができ […]
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マスフローコントローラについて
マスフローコントローラとは マスフローコントローラ(Mass Flow Controller)はアメリカで発明され、カタカナあるいは英語での表記ですが、直訳すると質量流量制御器です。文字通り気体や液体といった流体の質量に […]
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高速マスフローコントローラで100msec*¹の高速流量制御、エッチングガスや低差圧条件も対応可能に
エッチングプロセスやALDプロセスなどの半導体前工程に関係する皆様から、多くの「いつ発売になるのか？」「早く採用したい！」*²という期待の反響を頂いた、当社の自信作「高速マスフローコントローラ MC-7000series […]